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1、 清华大学精密仪器与机械学系建立于1984年，其前身为成立于1932年的清华大学工学院机械系，五十年代院系调整为清华大学机械制造系。

2、六十年代初又调整为精密仪器与机械系，八十年代更名为现今的精密仪器与机械学系。